Description des produits
Spécifications du produit
| Normes | ASTM A269, ASTM A632, SEMI F19, SEMI F20 |
| Nuances d'acier | TP316L (UNS S31603) |
| Normes équivalentes | EN 10216-5 : 1.4404/1.4435 ; JIS G3459 : SUS316L ; ASME BPVC Section II SA-269 TP316L. |
| Diamètre extérieur (OD) | 1/8" – 4" (3,18 mm – 101,6 mm) |
| Épaisseur de paroi (WT) | 0,035" – 0,120" (0,89 mm – 3,05 mm) |
| Longueur | Jusqu'à 12 m ou sous forme de bobine |
| Traitement de surface | Électropoli (EP), recuit brillant (BA) |
| Processus de production | Froid-étiré à froid-laminé à froid |
| Condition | Solution recuite, emballée en salle blanche, double emballage |
Le TP316L contient 2,0 à 3,0 % de molybdène, présentant une excellente résistance à la corrosion par piqûres et fissures (PREN supérieur ou égal à 24), nettement supérieure au 304L. Dans des conditions de transport de produits chimiques, telles que HCl, HF et NH₄OH que l'on trouve couramment dans les stations de nettoyage humide des semi-conducteurs et les équipements de gravure, les tubes SS électropolis TP316L présentent un taux de corrosion plus faible.
Le tube subit un travail à froid et un électropolissage de surface, atteignant une rugosité de surface Ra inférieure ou égale à 0,13 µm, réduisant ainsi la résistance aux fluides et le rendant adapté aux systèmes de gaz UHP.
Services personnalisés
- TORICH propose des dimensions et des tolérances personnalisées, avec des diamètres extérieurs et des épaisseurs de paroi contrôlés avec précision à ± 0,025 mm, ainsi qu'une découpe et un ébavurage de précision.
- Les tubes sont soumis à un nettoyage final et à un séchage-sans poussière dans une salle blanche de classe ISO 5 (classe 100), suivis d'un emballage sous vide- ou purgé à l'azote-dans des sacs doubles- ou triples-salle blanche-, dotés d'un étiquetage externe traçable.
- Des services personnalisés de traitement des extrémités de tubes-sont disponibles, notamment la coupe carrée et le chanfreinage, les raccords VCR, l'évasement/le bridage et le filetage NPT ou G.
- Des options de rugosité de surface personnalisées sont proposées : EP standard (Ra inférieur ou égal à 0,2 μm), EP de haute-pureté (Ra inférieur ou égal à 0,15 μm) et Ultra-Haute-Pureté EP (surface interne Ra inférieur ou égal à 0,1 μm).
Composition chimique
| Élément | C | Mn | P | S | Si | Cr | Ni | Mo |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TP316L (%) | Inférieur ou égal à 0,030 | Inférieur ou égal à 2,00 | Inférieur ou égal à 0,045 | Inférieur ou égal à 0,030 | Inférieur ou égal à 1,00 | 16.0–18.0 | 10.0–14.0 | 2.0–3.0 |
Propriétés mécaniques
| Propriété | Résistance à la traction (MPa) | Limite d'élasticité (MPa) | Allongement (%) | Dureté (HB) |
| Valeur | Supérieur ou égal à 485 | Supérieur ou égal à 170 | Supérieur ou égal à 35 | Inférieur ou égal à 95 |
Catégories alternatives possibles
- Si le coût est une considération primordiale, le TP304L est une option ; il ne contient pas de molybdène et est moins cher que le TP316L, bien qu'il offre une résistance à la corrosion par piqûre inférieure, ce qui le rend adapté aux systèmes de gaz en vrac dans les installations utilisant des nœuds de processus matures de 28 nm et plus.
- Le 316L VAR sert de mise à niveau premium ; il offre une pureté de matériau plus élevée et moins de défauts de surface, ce qui le rend adapté aux conduites de gaz de traitement critiques dans les nœuds de fabrication les plus avancés (7 nm et moins).
- Pour les environnements extrêmement corrosifs-tels que ceux impliquant de l'acide fluorhydrique, de l'acide chlorhydrique concentré ou du fluor-produits chimiques contenant du fluor-où le TP316L n'est pas adapté, l'Hastelloy C-22 est un choix viable, avec une valeur PREN supérieure à 42.
domaines d'application
- Systèmes de distribution de gaz UHP– Distribution de gaz de haute-pureté pour N₂, O₂, H₂, Ar, He et les gaz semi-conducteurs spéciaux.
- Systèmes de distribution de produits chimiques (CDS)– Transfert de produits chimiques et d'acides de haute-pureté.
- Systèmes d'eau ultra pure (UPW)– Tuyauterie pour la distribution d'eau ultrapure de qualité semi-conducteur-.
- Équipement de traitement des semi-conducteurs– Connexions gaz et produits chimiques pour équipements CVD, PVD, ALD, gravure, implantation et diffusion.
- Armoires à gaz et boîtes de collecteurs de vannes– Tubes internes pour systèmes de contrôle et de distribution de gaz.
- Instrumentation analytique– Tubes de haute-pureté pour les équipements de GC, MS, FTIR et de surveillance des processus.
Exposition de produits
Équipement de test
Équipement d'usine
Matériel de décapage
Paquet de produits
FAQ
Q : Quelle est la finition typique de la surface intérieure de votre tube électropoli ?
R : Nous utilisons des tubes en acier inoxydable électropoli conformes aux normes ASTM A269. La surface intérieure est extrêmement lisse, avec une rugosité typique Ra inférieure ou égale à 0,4 μm, et peut être affinée jusqu'à Ra inférieure ou égale à 0,15 μm à la demande du client.
Q : Comment garantissez-vous une grande-précision dimensionnelle du tube ?
R : La précision dimensionnelle est assurée grâce à un étirage à froid de précision, un recuit contrôlé et un contrôle strict du processus d'électropolissage. Chaque tube est soumis à une inspection du diamètre extérieur, du diamètre intérieur, de l'épaisseur de paroi, de la rectitude et de l'ovalité, et les résultats des mesures sont enregistrés dans le certificat de test d'usine (MTC).
Q : Ce tube est-il adapté au soudage orbital ou au soudage TIG ?
R : Oui. Nos tubes ont une excellente soudabilité. Un pré-nettoyage est recommandé, et une passivation ou un électropolissage après-soudage peut restaurer la douceur de la surface et la résistance à la corrosion du tube dans les systèmes de haute-pureté.
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